Федеральная информационная площадка

Осаждение Ni покрытий методом жидкофазной магнетронной распылительной системы

Актуальность

•Нанесение тонкопленочных покрытий позволяет изменить поверхностные свойства материалов;

•Такие покрытия используются в медицине, архитектуре, оптике, электронике и т.д.;

•Покрытия Ni обладают антикоррозийными и декоративными свойствами.

Одна из актуальных задач современной вакуумной технологии – получение высококачественных тонких пленок металлов. Тонкопленочные металлические покрытия применяются для декоративных целей, просветляющих и отражающих покрытий, упрочняющих и износостойких покрытий, а также в микроэлектронике.

На данный момент существует два основных метода получения подобных покрытий: CVD (chemical vapour deposition) – химическое осаждение из газовой фазы и PVD (physical vapour deposition) – физическое осаждение из газовой фазы. 

Применительно к проекту, осаждение Ni покрытий распространено только методами химического осаждения : химическим и гальваническим.

Оба метода являются неэкологичными из за большого количества отходов химического производства, а второй метод ещё и затратен по электроэнергии.

Более экологичным может оказаться осаждение таких покрытий физическими методами в вакуумной среде (магнетронная распылительная система): нет необходимости в реагентах, нужно только осаждаемое вещество, вакуумная установка и рабочий газ. Однако, традиционные физические методы осаждения в случае с Ni теряют работоспособность. Связано это с тем, что никель - магнитный материал, а физические методы осаждения для работы используют магнитное поле. В итоге мишень из никеля "поглощает" магнитное поле и процесс осаждения затруднен. На данный момент ведутся работы по преодолению этого эффекта.

Одним из решений может быть использование жидкофазной магнетронной распылительной системы с кольцевой мишенью, где имеется центральный магнитопровод, при такой конфигурации магнитное поле практически не изменяется из за никелевой мишени.

Данное исследование нацелено на изучение данного метода как альтернативного и более экологичного способа осаждения покрытий никеля.

Цель проекта: Исследовать возможность осаждения Ni покрытий методом жидкофазной магнетронной распылительной системы.

Задачи проекта: 

•написание литературного обзора;

•осаждение покрытий при разных параметрах;

•изучение свойств полученных покрытий;

•вывод о применимости технологии. 

Ожидаемый результат: данные о возможности применимости осаждения покрытий Ni с помощью данной технологии.

Участники проекта